Jonapluoščio dulkinimo (IBS) įrenginys – IBS@LAB.
Nusodinimo elektronų spinduliu (e-beam) įrenginys – VERA 1100 (VTD, Dresden, Vokietija) .
Magnetroninio dulkinimo (MS) įrenginys – Kurt J. Lesker PVD 225.
Ultragarsinio elementų plovimo įrenginys – UCS-40.
Atominių jėgų mikroskopas (AFM) – Nanowizard 3.
Atominių sluoksnių nusodinimo (ALD) įrenginys – SAVANNACH 200
Multifunkcinis automatizuotas lazerinis stendas:
- Lazeris NL121-20 Ekspla su I-IV harmonikomis.
- Mikroskopas Olympus BX41 su tamsaus lauko kontrastu.
- Osciloskopas Tektronix TDS2012C