Jonapluoščio dulkinimo (IBS) įrenginys – IBS@LAB.

Nusodinimo elektronų spinduliu (e-beam) įrenginys – VERA 1100 (VTD, Dresden, Vokietija).

Magnetroninio dulkinimo (MS) įrenginys – Kurt J. Lesker PVD 225.

Ultragarsinio elementų plovimo įrenginys – UCS-40.

Atominių jėgų mikroskopas (AFM) – Nanowizard 3.

Atominių sluoksnių nusodinimo (ALD) įrenginys – SAVANNACH 200

Multifunkcinis automatizuotas lazerinis stendas LIDT (angl. laser induced damage threshold) ir CRD (angl. cavity ring-down setup) matavimams
(1064 nm, 532 nm,  355 nm and 266 nm wavelengths)

• Lazeris NL121-20 Ekspla su I-IV harmonikomis.
• Mikroskopas Olympus BX41 su tamsaus lauko kontrastu.
• Osciloskopas Tektronix TDS2012C

Lazerinis stendas LID ( angl. laser induced deflection) absorbcijos matavimams ppm lygmenyje (1064 nm, 532 nm and 355 nm bangų ilgiai)

Skirtuminio fazės vėlinimo sistema Thorlabs (488 nm bangos ilgis)

Microskopas – Leica DM6 M

Microskopas – Olympus BX41 with dark field contrast.