skip to Main Content

Įranga

Jonapluoščio dulkinimo (IBS) įrenginys – IBS@LAB.

Nusodinimo elektronų spinduliu (e-beam) įrenginys – VERA-1100.

Magnetroninio dulkinimo (MS) įrenginys – Kurt J. Lesker PVD 225.

Ultragarsinio elementų plovimo įrenginys – UCS-40.

Atominių jėgų mikroskopas (AFM) – Nanowizard 3.

Atominių sluoksnių nusodinimo (ALD) įrenginys – SAVANNACH 200

Multifunkcinis automatizuotas lazerinis stendas: